เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียมแบบกล่องสุญญากาศอัตโนมัติสำหรับส่วนประกอบเครื่องแลกเปลี่ยนความร้อนไมโครแชนเนลพร้อมการทำความสะอาดฮีเลียมแบบแอคทีฟและการติดตามการผลิต
เครื่องนี้เป็นเครื่องพิเศษสำหรับตรวจจับการรั่วไหลของมวลฮีเลียมในอุปกรณ์แลกเปลี่ยนความร้อนแบบไมโครแชนเนลด้วยกล่องสุญญากาศ ประกอบด้วยระบบดูดอากาศ ระบบตรวจจับการรั่วไหลของกล่องสุญญากาศ ระบบทำความสะอาดฮีเลียม และระบบควบคุมอิเล็กทรอนิกส์ เครื่องนี้มีฟังก์ชันทำความสะอาดฮีเลียมแบบแอคทีฟ เครื่องนี้มีฟังก์ชันบันทึกปริมาณการผลิต ปริมาณสินค้าที่ตกลง (OK) และปริมาณสินค้าที่ยังไม่ผ่านกระบวนการ (NG)
| ผลิตภัณฑ์จากงานที่ได้รับการตรวจสอบ | 4L |
| ขนาดภายนอกสูงสุดของชิ้นงาน | 770มม. * 498 * 35มม. |
| ขนาดของห้องสุญญากาศ | 1100 (ยาว) 650 (ลึก) 350 (สูง) |
| ผลิตภัณฑ์เนื้อหา | 250 ลิตร |
| จำนวนกล่องสูญญากาศ | 1 |
| จำนวนชิ้นงานต่อกล่อง | 2 |
| โหมดกล่องเข้าและออกชิ้นงาน | กล่องสูญญากาศเข้าและออกด้วยมือ |
| เปิดและปิดประตู | ประเภทฝาพับ |
| แรงดันรั่วไหลขนาดใหญ่ | 4.2 เมกะปาสคาล |
| แรงดันในการเติมฮีเลียม | 3MPa สามารถปรับอัตโนมัติได้ |
| ความแม่นยำในการตรวจจับการรั่วไหล | 2 กรัม/ปี (△P=1.5MPa, R22) |
| แรงดันการอพยพกล่องสูญญากาศ | 30ปา |
| อัตราการกู้คืนก๊าซฮีเลียม | 98% |
| สถานีทดสอบกล่องสุญญากาศ (กล่องคู่) | 100 วินาที / กล่องเดียว (ไม่รวมเวลาโหลดและขนถ่ายด้วยมือ) มีท่อปฏิบัติการ 2 ท่ออยู่ทั้งสองด้านของกล่อง |
| การตั้งค่าการควบคุมอัตราการรั่วไหล (He) | ผู้ใช้สามารถเลือกกลุ่มพารามิเตอร์หรือแก้ไขบนหน้าจอแสดงผลตามความต้องการของกระบวนการของตนเองได้ |
| พื้นที่ให้บริการ | 3140(ยาว)×2500(กว้าง)×2100(สูง) มม. |
| แหล่งจ่ายไฟสำหรับอุปกรณ์ | กระแสสลับสามเฟส 380V± 10% 50Hz |
| กำลังไฟฟ้าติดตั้ง | 20 กิโลวัตต์ |
| แรงดันอากาศอัด | 0.5-0.6 เมกะปาสคาล |
| จุดน้ำค้าง | -10℃ |
| ก๊าซอัดแรงดัน | อากาศอัดที่มีไนโตรเจนความบริสุทธิ์มากกว่า 99.8% หรือจุดน้ำค้างต่ำกว่า -40℃ |
| แรงดันแก๊ส | 5.5 เมกะปาสคาล |